研究開発用途

高真空装置内部への治具類
既存の装置への特殊治具を製作しています

測定用の治具類：低温・特殊環境等
細かな要求に合わせて設計製作しています

電磁暗箱測定器（内部）
研究目的に合わせ拡張性も持たせています

特殊環境特殊プローバー 設計製作一式
制御系は外注で作製
限られたスペースの中に、考えられないほどの機能を盛り込んで製作しました

研究用の小型低価格プラズマ装置です

UVランプでウェーハの表面処理を行う装置です