真空プローバーとは？
真空プローバーは、真空環境下で試料にプローブ（探針）を接触させ、電気特性や物理特性を精密に測定するための装置です。主に半導体デバイスの評価、材料研究、極低温実験などに用いられます。
当社 Terapico(テラピコ)製 真空プローバーの特長
自社設計・製作によるカスタム対応
当社は真空プローバーを完全自社設計・製作しており、測定対象・環境に応じた柔軟なカスタマイズが可能です。実験の精度と再現性を高めるための構造設計・材質選定において、多くの研究機関様より高い評価をいただいています。
アルミ製チャンバー採用：軽量＆高カスタマイズ性
当社の真空プローバーは、アルミ合金製チャンバーを採用しています。これにより以下の特長を実現しています：
軽量構造：装置全体の質量を抑え、取り回しや設置の柔軟性が向上
高い加工自由度：アルミの機械加工性を活かし、用途に応じた自由なチャンバー形状設計が可能（例：斜め観察用ビューポート、ガス導入口、冷却系統の追加など）
表面には耐食性や真空適合性を考慮した特殊表面処理も可能です。
ロードロックも対応可能です。
極低温（4K）対応／液体窒素冷却
液体ヘリウムや液体窒素を用いた**極低温環境（～4K）**での測定に対応可能なモデルも開発・納入実績があります。熱シールド設計、高真空断熱構造など、低温環境での安定動作を実現しています。
小型プローブカード対応
市販のプローブ針だけでなく、小型プローブカードにも対応。マイクロデバイスや複数端子への同時接触できるよう、傾き調節も可能です。
真空プローバ及び関連装置の例
角型アルミ合金製真空プローバー
- XYステージ付き
- 斜めビューポート付き
アルミ合金製真空プローバー
- 極低温対応可能
特殊アルミ合金製装置への測定子導入例
