プローバーとは？
一般的にプローバー（Prober）は、半導体ウェハ上のチップに微細なプローブ（針）を接触させて電気的特性を測定する装置として知られています。
当社ではこのプローバー技術を応用し、以下のような多様な試料・形態に対応したカスタムプローバーの設計・製作を行っています。
対応対象の一例：
- ウェハ全体（一般的な形態）
- ダイシング済みの小片チップ
- 基板に実装されたチップやモジュール
- パッケージング済みデバイス（例：封止後に開封または開口処理したもの）
特長：
- 微細構造やアクセスが難しい位置にも対応できるカスタム治具の設計
- DUTボード等基板も対応
- 高温／低温／極低温、高耐圧にも対応可能な装置構成
- 真空・不活性ガス雰囲気での測定にも対応（真空プローバー）
- 非磁性・電磁暗箱も対応
Φ200ウェーハ対応標準プローバー
- ステージの電動化対応
- 各種チャック対応
Φ300ウェーハ対応標準プローバー
- ステージの電動化対応
- 各種チャック対応
裏面（両面）プローバー
- 測定対象に合わせて製作可能です
簡易裏面プローバー
- 測定対象に合わせて製作可能です
DUT対応プローバー
- 測定対象に合わせて製作可能です
その他
- 小型プローバ
- 簡易プローバ
- 高温（高低温）プローバ
- 高耐圧プローバ
- 電動プローバ
等 実績があります。